工业等离子光催化废气处理采用高压发生器产生并形成低温等离子体，在平均能量大约在5eV的大量电子作用下，使通过净化器的废气成分苯、甲苯、二甲苯等有机废气分子转化成各种活性粒子，与空气中的O2结合生成H2O、CO2等低分子无害物质，使废气得到净化。在处理过程中，当有机气体进入冷离子体反应室时，气体被均匀分配到等离子反应室（PRC）。反应室内每根管子的中间有一根冠状电线，与反应室独立隔开。通过高压线对反应室导通可调节高压，高压导通道管子里的冠状电线上，由电线至管壁产生放电现象。

工业等离子光催化废气处理优点：

①能耗低，可在室温下与催化剂反应，无需加热，极大地节约了能源；

②使用便利，设计时可以根据风量变化以及现场条件进行调节；

③不产生副产物，催化剂可选择性地降解等离子体反应中所产生的副产物；

④不产生放射物；

⑤尤其适于处理有气味及低浓度大风量的气体。

当废气进入等离子光解一体机净化设备内时，先经过等离子体化学反应过程，即电子首先从电场获得能量，通过激发或电离将能量转移到分子或原子中去，获得能量的分子或原子被激发，同时有部分分子被电离， 从而成为活性基团；之后这些活性基团与分子或原子、活性基团与活性基团之间相互碰撞后生成稳定产物和热。