多种脱臭工艺的特征与经济性比较表

废气处理技术的有效性取决于费用，剂量，引起异味的化合物的存在，取决于污染物的聚集效果，以及设备保养，空间限制，有毒物质含量等多方面因素。因此，脱臭技术还需要车间生产方面配合协作。

光氧等离子废气处理设备净化污染物的过程如下：

过程一：高能电子直接轰击

过程二：产生氧原子、臭氧、羟基自由基及小分子碎片

O2  +  2e  →  2O·

O2   +  O·  →  O3  +  e

H2O  +  2e → H·  +  HO·

H2O  +  O·+  e →  2HO·

H· +  O2  →  HO·  +  O

C(a+b)H(m+n)O(x+y) + 2 e → CaHmOx ·+ CbHnOy·

过程三：分子碎片氧化

CaHmOx  + HO·→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O·→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O2→ CO2 + H2O

CaHmOx  + O3→ CO2 + H2O

经过光氧等离子净化后，废气尚含有部分小分子的物质及臭氧，采用水洗工艺可以对污染物进行进一步处理，同时减少废气中臭氧含量。相关反应机理如下：

H2O  +  e → H·  +  HO· +  e

H·  +  O3 → O2  +  HO·

HO·  +  O3 → HO2·  +  O2

HO2·  +  O3 → HO·  +  O2

因此在此过程中，部分小分子有机物可进一步被羟基自由基氧化而予以去除。

光氧等离子废气处理设备废气处理技术是一种新兴的高效广谱废气处理技术。该技术利用产生的等离子体，对污染物分子进行破坏裂解，可以将有机物分解，氧化，形成无害、无味的成分，从而达到达标排放的目的。